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縱向塞曼效應雙頻激光干涉儀的原理與應用

在現代光學測量領域中，縱向塞曼效應雙頻激光干涉儀是一種重要的測量工具。它基于獨特的物理原理，能夠實現高精度的距離測量。

縱向塞曼效應雙頻激光干涉儀的工作原理如下：縱向塞曼激光器發出左右圓偏振光，經λ/4波片后成為偏振方向相互垂直的同軸雙頻激光f1和f2。這兩束光在分光鏡BS處分為兩部分，反射部分經檢偏器P1形成拍頻f2-f1，由光電探測器D1接受，作為系統的參考信號。透射部分在偏振分光鏡PBS處按偏振方向分解，一路指向定鏡R，頻率為f1；另一路指向靶鏡M，頻率為f2。

當靶鏡M移動時，返回光會產生多普勒頻移±Δf，加于原頻率f2之上。此時，f2+Δf與f1兩光束在偏振分光鏡PBS匯合，經45°放置的檢偏器P2得到含有測量距離信息的拍頻信號（f2-f1）±Δf，由光電探測器D2接收，作為測量信號。

在Machelson干涉儀中，靶鏡M的移動距離可以通過以下公式計算：L=λ/2*∫_{0}^{t}Δfdt=N*λ/2。其中，λ為激光波長，多普勒頻移Δf的積分為條紋數N。減法器S通過[(f2-f2)±Δf,]-(f2-f1)]的運算得到±Δf，進而可以根據上式計算得到測量長度值L。

縱向塞曼效應雙頻激光干涉儀具有高精度、高穩定性的特點，廣泛應用于機械制造、航空航天、半導體等領域的精密測量。它為這些領域的發展提供了重要的技術支持，有助于提高產品質量和生產效率。

縱向塞曼效應雙頻激光干涉儀是一種先進的光學測量儀器，其原理和應用對于推動科技進步具有重要意義。

創建時間：2024-09-24 14:03

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